真空系統的(de)隔離(li)閥：小蝶閥、箱阱隔離(li)閥（蘑菇閥、大蝶閥）。 小蝶(die)閥(fa)是(shi)用來接(jie)通(tong)或截止真(zhen)空泵和(he)后(hou)箱之間(jian)氣流通(tong)道的(de)(de)隔離閥(fa)門，接(jie)在真(zhen)空泵泵頭(tou)管道上(shang)。小蝶(die)閥(fa)通(tong)過(guo)氣動系統(tong)來控制開和(he)關，達到接(jie)通(tong)和(he)截止的(de)(de)目的(de)(de)。
充氣(qi)式高(gao)真空電磁擋板閥(fa)是安(an)裝(zhuang)在機械式真空泵上(shang)的專用閥(fa)門。閥(fa)門與(yu)泵接(jie)在同一電源(yuan)上(shang)，泵的開啟與(yu)停止直接(jie)控制了(le)閥(fa)的開啟與(yu)關閉。當泵停止工作或電源(yuan)突然中斷時，閥(fa)能自動將(jiang)真空系(xi)(xi)統封閉，并將(jiang)大(da)氣(qi)通(tong)過閥(fa)的進氣(qi)口充入泵腔，避免泵油返流(liu)倒吸污染(ran)真空系(xi)(xi)統。 避振(zhen)管(guan)(guan)接(jie)在真(zhen)空管(guan)(guan)上，主(zhu)要起減輕(qing)振(zhen)動(dong)作用，變真(zhen)空管(guan)(guan)道(dao)的剛性連(lian)(lian)接(jie)為柔(rou)性連(lian)(lian)接(jie)，排污閥主(zhu)要將一些油污和水排出。
