摻(chan)氣(qi)微(wei)調閥(fa)是一個針(zhen)閥(fa)，作為微(wei)量(liang)(liang)(liang)空(kong)氣(qi)進入干(gan)燥箱以實現壓力控(kong)(kong)制的閥(fa)門。一般與(yu)電磁閥(fa)組(zu)合使用(yong)，用(yong)微(wei)調閥(fa)調節進氣(qi)量(liang)(liang)(liang)的大小(xiao)，用(yong)電磁閥(fa)控(kong)(kong)制真空(kong)上下偏差。主要是用(yong)在產品凍(dong)干(gan)，升華階(jie)段用(yong)于(yu)摻(chan)氣(qi)。逆時針(zhen)流量(liang)(liang)(liang)增大，順時針(zhen)流量(liang)(liang)(liang)減小(xiao)。 放(fang)氣(qi)(qi)電(dian)(dian)磁(ci)(ci)閥(fa)(fa)是控制無(wu)菌空氣(qi)(qi)進(jin)入(ru)箱體內(nei)的閥(fa)(fa)門，當放(fang)氣(qi)(qi)電(dian)(dian)磁(ci)(ci)閥(fa)(fa)通電(dian)(dian)，線圈(quan)產生(sheng)磁(ci)(ci)場，銜鐵(tie)動作，打(da)開電(dian)(dian)磁(ci)(ci)閥(fa)(fa)兩邊通道(dao)，無(wu)菌空氣(qi)(qi)從外邊進(jin)到箱內(nei)。 注意閥(fa)門安裝方向和(he)共工作(zuo)電壓，箭頭方向應(ying)與其所在(zai)的(de)管路的(de)氣體(ti)(ti)流向一(yi)致。
MKS摻氣閥(fa)結構(gou)：
閥體 2.卡圈 3.中間(jian)軸 4.線(xian)圈組件 5.電樞/插頭組件(jian)（帶O形圈） 6.孔板組(zu)件（不帶O型圈） 7. 接(jie)頭 8.內六角螺(luo)釘(ding)（8-32 x 0.50） 9.六(liu)角螺母（7/16-14） 10. O形圈，氟橡膠，尺寸2-016 11. O形圈，氟橡膠，尺寸2-009 12. O形圈，氟橡(xiang)膠，尺寸(cun)3-902
MKS摻氣閥(fa)驅(qu)動器：接摻氣閥(fa)這端是9芯插座，接PLC和電源是15芯插頭(tou)。 指示燈為橙(cheng)色時(shi)，PLC無模(mo)擬量輸出。 指示(shi)燈為(wei)黃色(se)時，PLC模(mo)擬量100%輸出，摻氣閥在完(wan)全(quan)打開狀(zhuang)態。
